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干式螺杆真空泵是干式泵系列之一。所谓的干式真空泵，在泵的泵流道中，不能使用任何油和液体，排气口与大气相连，可以直接连续排放到大气中。干式真空泵在泵中没有液体工作介质或密封介质，从根本上解决了油封真空泵引起的各种问题。

干式螺杆真空泵出现于20世纪90年代初。由于其抽速范围广、结构简单紧凑、泵腔无摩擦元件、能耗低、无废液排放、运行成本低等一系列优点，广泛应用于半导体、光伏工业、化工、医药、石化、空间模拟、低压风洞等领域。

干式螺杆真空泵是由一对同步齿轮驱动的反向旋转螺钉。螺钉和螺钉之间，螺钉和泵腔之间有一定的间隙，金属和金属之间没有任何接触。因此，在旋转过程中，螺钉将从进气口吸入并排放到排气口。根据螺杆类型，干式螺杆真空泵可分为等螺距和可变螺距，可变螺距可分为两种类型：不同尺寸的螺距和螺距的连续变化。

从左到右：等螺距，变螺距(二段拼成)，螺距连续变化(整体)不同的螺杆设计。

干式螺杆真空泵零件少，无易损件，运行可靠，使用寿命长，操作维护方便；

由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%的能耗，排气温度较低；

干式螺杆真空泵无不平衡惯性力，机器运行平稳高速，噪音低；

具有强制输气的特点，在宽压范围内可保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响；

由于干螺杆真空泵转子齿表面之间有一个小间隙，可以去除腐蚀性、有毒、含有灰尘、冷凝蒸汽等气体，小颗粒不易积聚，泵腔内的残留物也容易去除；